Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П
Тестер полупроводниковых пластин ФСМ 1201П – это узкоспециализированный прибор, предназначенный для неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур из монокристаллического кремния в соответствии с международными стандартами SEMI. Основой тестера является ИК фурье-спектрометр. Подача плоскопараллельных полированных пластин кремния диаметром 76, 100, 125, 150 и 200 мм, размещаемых на измерительном столе, производится в автоматизированном режиме в запрограммированных оператором точках. Прибор оснащен двумя отдельными приемниками ИК-излучения: один для канала пропускания, второй – для канала отражения.
Программное обеспечение, разработанное специально для тестера, позволяет получить интерферограммы и преобразовать их в спектр, выполнить первичную обработку, отобразить спектр на экране монитора, сохранить и распечатать полученные результаты измерения, управлять измерительным столом, а также обеспечивает реализацию методик контроля параметров полупроводниковых пластин, генерацию отчетов и ведение базы данных, тестирование и настройку ИК фурье-спектрометра.
Основные контролируемые параметры:
- концентрация междуузельного кислорода (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах (5×1015–2×1018)±5×1015 см-3 (SEMI MF1188);
- концентрация углерода замещения (толщина пластин 0,4–2,0 мм) в пределах: (1016–5×1017)±1016 см-3 (SEMI MF1391);
- радиальная неоднородность распределения кислорода в кремниевых пластинах (SEMI MF951);
- толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+ в пределах (0,5–10,0)±0,1 мкм, (10–200)±1% мкм (SEMI MF95);
- толщина эпитаксиальных слоев кремния в структурах КНС в пределах (0,1–10,0)±1% мкм;
- концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС в пределах (1–10)±0,2 % вес.
Технические характеристики тестера ФСМ 1201П:
|
Спектральный диапазон, см-1
|
400-7800
|
|
Спектральное разрешение, см-1
|
1,0
|
|
Линейность фотоприемной системы (уровень псевдорассеянного света) не более, %
|
±0,25
|
|
Диаметр ИК-пучка в плоскости образца, мм
|
6
|
|
Максимальный размер пластин, мм
|
200
|
|
Точность позиционирования стола, мм
|
0,5
|
|
Время стандартного измерения в одной точке, с
|
20
|
|
Светоделитель
|
KBr с покрытием на основе Ge
|
|
Источник излучения
|
Высокотемпературный металлокерамический
|
|
Детектор
|
Пироприемник LiTaO3
|
|
Габаритные размеры, мм
|
670х650х250
|
|
Масса, кг
|
40
|
Основные преимущества применения тестера ФСМ 1201П:
- высокая чувствительность и точность измерений;
- время получения спектра не превышает 20 с, что обеспечивает высокую производительность;
- в процессе измерений поверхность пластины не подвергается механическим воздействиям;
- полностью автоматизирован процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины.
